Technologie de revêtement
Technologie de revêtement
La société mère des brevets de HT OPTICS, HTNM, est une société technologique de pointe qui propose à ses clients des produits avancés utilisant de nouveaux matériaux, notamment le saphir et l'AlN, etc., pour des applications dans les domaines de l'optique, des couches minces fonctionnelles, des filtres radiofréquence (RF), des composants à fibres optiques, des biocapteurs et des capteurs piézoélectriques.
HTNM est un fournisseur de produits optiques à couches minces de haute précision dotés de la technologie ARS (Atomic Reactive Sputtering) de dépôt de couches minces développée indépendamment. Un brevet pour cette technologie innovante a été attribué à HTNM en 2015. Cette technologie permet à HTNM de fabriquer une grande variété de produits à couches minces hautes performances, notamment des revêtements AR, des filtres passe-bande, des DLC, etc.
Avantages technologiques:
1) Technologie brevetée de couche mince ARS (Atomic Reactive Sputtering) (brevet chinois n° 201310082514.1)
2) Conception de surveillance optique exclusive pour une surveillance in situ stable et en temps réel des propriétés optiques et de l'épaisseur de la plaquette
3) Conception exclusive du support de tranche pour le dépôt de ≥9 tranches par couche de revêtement
4) Possède le plus grand nombre de technologies PVD disponibles : évaporation thermique, E-Beam, IAD, pulvérisation
5) Dispose d'une variété de tailles de chambre de revêtement et d'un délai d'exécution rapide : 800 mm à 1 300 mm
6) Conception exclusive de grande cathode pour une pulvérisation stable à haut débit
7) Conception exclusive de grande cathode pour les processus à haute température : >800°C
8) Conception exclusive de chambre à vide pour les processus nécessitant des températures de substrat > 800°C
9) Conception et configuration exclusives pour minimiser la contamination sur la plaquette pendant le dépôt
10) Conception de chambre exclusive pour séparer les régions de dépôt et de réaction afin de garantir un débit et une vitesse de pompe stables
Avantages du service intégré:
1) Nous proposons une grande variété de produits à couches minces:
l AR (Anti-Refection)
l HR (haute réflexion)
l BS (séparateur de faisceau)
l EF (filtre de bord)
l BP (filtre passe-bande)
l Revêtements métTousiques
l AS/AF (anti empreinte digitale)
2) Les produits à couche mince couvrent les UV au NIR (190 nm à 3 um)
3) Revêtements extrêmement durs avec procédé ARS, revêtements LIDT élevés
4) Nous sommes experts en filtres passe-bande étroits : filtres optiques, filtres à haute cavité, filtres de caméra 3D, filtres fluorescents
5) Revêtements conçus sur mesure et prototypage rapide
6) Équipements de métrologie modernes : ZYGO, KLA, Cary…
Lignes de rodage/polissage de pointe pour le verre, le saphir et la céramique
Capacités de revêtement en couche mince:
Évaporation par faisceau d’électrons/source thermique:
Évaporation par faisceau d’électrons/source thermique | ||
Spécification |
Tolérance typique |
Meilleure tolérance |
Erreurs aléatoires d’épaisseur physique | <2.0% | <1.0% |
Erreurs d'épaisseur optique aléatoires | <1.0% | <0.5% |
Centrage d'une course à l'autre | ± 1.5% | ± 0.5% |
Uniformité planétaire | <1.0% | <0.25% |
Changement de vitesse humide/sec (plage) | 0.5-1.5% | 0.5-1.5% |
(HEURE, 1064 nm, 10 ns, 10 Hz) Seuil de dommage laser (HR, 1064 nm, 10 ns, 10 Hz) | >15 J/cm2 | >30 J/cm2 |
Absorption | <0.1% | <0.1% |
Dispersion | <0.1% | <0.1% |
Rugosité de la surface | 20 Å rms typique | 10 Å rms typique |
Dépôt assisté par ions (IAD)
Dépôt assisté par ions (IAD) | ||
Spécification |
Tolérance typique |
Meilleure tolérance |
Erreurs aléatoires d’épaisseur physique | <2.0% | <1.0% |
Erreurs d'épaisseur optique aléatoires | <1.0% | <0.5% |
Centrage d'une course à l'autre | ± 1.5% | ± 0.5% |
Uniformité planétaire | <1% | <0.25% |
Changement de vitesse humide/sec (plage) | 0.5-1% | 0.5-1% |
(HEURE, 1064 nm, 10 ns, 10 Hz) Seuil de dommage laser (HR, 1064 nm, 10 ns, 10 Hz) | >10 J/cm2 | >15 J/cm2 |
Absorption | <0.1% | <0.1% |
Dispersion | <0.1% | <0.1% |
Rugosité de la surface | 20 Å rms typique | 10 Å rms typique |
Pulvérisation réactive atomique (ARS)
Réactif atomique Pulvérisation ( RA S) | ||
Spécification |
Tolérance typique |
Meilleure tolérance |
Erreurs d'épaisseur aléatoires | <0.7% | <0.25% |
Centrage d'une course à l'autre | ± 0.5% | ± 0.25% |
Uniformité planétaire | <1% | <0.25% |
Changement de vitesse humide/sec (plage) | 0% | 0% |
(HEURE, 1064 nm, 10 ns, 10 Hz) Seuil de dommage laser (HR, 1064 nm, 10 ns, 10 Hz) | >1 J/cm2 | >1 J/cm2 |
Absorption | ~ 100 ppm (0,01%) | ~50 ppm |
Dispersion | ~ 100 ppm (0,01%) | ~50 ppm |
Rugosité de la surface | 10 Å rms typique | 5 Å efficace typique |
Capacités de test de revêtement:
Carie Spectrophotomètre | ||
Test |
Gamme typique |
Tolérance |
Balayage de transmission, incidence normale | 0.190-3.0 m m | ± 0,05% @ absorbance =0,5 |
Balayage par réflexion, incidence normale | 0.190-3.0 m m Outil de réflectance commercial
HT ’s Outil de réflectance
Analyse de réflectance AR |
± 1.0%
±0.50%
±0.05% |
Balayage de transmission, incidence oblique | 0.190-3.0 m m 0-90 degrés. luminaire à angle variable Polarisations P, S, UNP | ± 0,05% @ absorbance =0,5 |
Balayage par réflexion, incidence oblique | 0.190-3.0 m moi, Luminaire 45° Outil de réflectance commercial
HT ’s Outil de réflectance
Analyse de réflectance AR Polarisations P, S, UNP |
± 1.0%
±0.25%
±0.05% |
Chambre humide | |
Test |
Gamme typique |
Mil. Spéc. Temp. Test |
-70 à +150 °C (-94 à 302 °F) |
Humidité des spécifications militaires T HNE |
10 % à 95 % d’humidité relative |
Testeur de dureté de revêtement | |
Test | Gamme typique |
Spécification militaire. Test de dureté du revêtement
| Adhésion (ruban) Légère abrasion (étamine) Abrasion sévère (gomme) |
Tests laser | |
Test |
Plage/tolérance typique |
Laser HeNe 633 nm |
Puissance de sortie = 100 m W-5 mW |
Laser accordable |
l= 1510-1590 nm |
Seuil de dommages laser (LDT) |
l =193 nm à 10,6 m m (Test en laboratoire indépendant) |
Interféromètre | |
Test |
Précision typique (limite) |
Zygo haute réSOLUTION GPI-XP (l = 633 nm) l Réducteur de 4" à 6 mm avec l /20 vagues réf. plat l F/0,75, F/1,5, F/3,4, F/7,6 et F/10.6 sphères de transmission (4" dia.) |
Planéité des surfaces:
10-152 mm de diamètre.: l /40 (limite basse) |
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